הצגת פיזור זרבובית קולית
חרירי פיזור משתמשים באוויר/גז בלחץ נמוך כדי לייצר דפוסי ריסוס רחבים, כאשר כל זרבובית מסוגלת עד 9.8 אינץ '(25 סנטימטרים), תלוי במרחק מהמצע. המהירות של זרימת האוויר ניתנת לשליטה כדי לאפשר השפעה נמוכה או גבוהה של התרסיס האטומי על המוצר או המצע. חרירים מרובים המחוברים בסדרה יכולים להשיג רוחב אינסופי. עיצוב זרבובית פיזור משמש לתבניות רחבות חוזרות ונשנות בחרירים דקים.
הזרבובית הקולית מסוג הפיזור הוא זרבובית אולטרה -סאונית אולטרה סאונד עם תרסיס חרוט ציקלון. היא משתמשת בטכנולוגיית זרבובית האטרומיות הקולית, ובאמצעות תכנון תעלות זרימת המערבולת המיוחד, גז המנשא הופך לזרימת אוויר מסתובבת אחידה, כך שהמרסס הקולי של הערפל הנוזל מתפזר בצורה של תרסיס ציקלון, ומרחיב את הריסוס אזור המרסס. ניתן לרסס גם חרירים אולטרה סאוניים על משטחים אנכיים או מעוקלים ומצעים זוויתיים אחרים.
היישום האופייני של פיזור חרירי אולטרה סאונד הוא ציפוי פוטורסיסטי על שבבי מוליכים למחצה, שם מרוסס פוטוריסט על שבבי המוליכים למחצה. בשל פיזור הסיבוב של הערפל הנפלט על ידי הזרבובית הקולית מסוג הפיזור, ניתן ליצור סרט פוטוריסט אחיד לא רק במישור הוופל, אלא גם על דפנות הצד והפינות של מיקרו -מבנה הפקידה. בנוסף, ניתן להשתמש בזרבובית הקולית מסוג הפיזור גם לציפויי תאים סולאריים דקים, ציפוי תאי סולארי סידן טיטנאט, ציפויי העברת סיבוב והשתקפות, ציפויי בידוד תרמי, ציפוי ציפוי ציפוי סופר -הידרופובי, ציפויי שטף PCB ויישומים אחרים.
עִקָרוֹן:
חרירי אולטרה סאוניים ממירים גלי צליל בתדירות גבוהה לאנרגיה מכנית דרך מתמרים פיזואלקטריים, ואז ממירים את האנרגיה המכנית לנוזל. רטט אורך כלפי מעלה ומטה כלפי מטה מייצר גלים עומדים בסרט הנוזל בקצה הזרבובית הקולית, שם ניתן לשלוט על משרעתם של גלים אלה על ידי מחולל כוח. גלי נוזל נייחים אלה יכולים להתרחב כלפי מעלה מראש הזרבובית הקולית, וכאשר הטיפות עוזבות את פני השטח של הזרבובית, הם מתפרקים לערפל דק אחיד של טיפות בגודל מיקרומטר.
בניגוד לחרירי לחץ, חרירי אולטרה סאונד אינם משתמשים בלחץ גבוה בכדי לכפות נוזלים דרך חור קטן לייצור ריסוס. הנוזל נכנס למרכז זרבובית גדול יחסית ללא לחץ ומושקע על ידי רטט קולי בתוך הזרבובית.
כל זרבובית קולית פועלת בתדר מהדהד ספציפי, הקובע את הגודל החציוני של הטיפה. ההבדל בגודל הטיפה הוא קטן מאוד, וניתן לחזות במדויק את חלוקתו בטווח מסוים באמצעות חישובים מתמטיים. לדוגמה, זרבובית של 120 קילו הרץ מייצרת גודל טיפה חציוני של 18 מיקרון בעת ריסוס מים. ככל שהתדר גבוה יותר, כך הירידה בערך החציוני קטן יותר.
יִתרוֹן:
1. ריסוס משטח גדול, ריסוס רוחב: 40-150 מ"מ
2. Coating uniformity:>אחידות של 95%
3. חסוך חומרי גלם: קצב השימוש בחומרי הגלם הוא מעל 85%, שהוא פי ארבעה מזה של ריסוס שני נוזלים מסורתיים
4. ניתן להכין בקרת דיוק גבוהה בעובי הציפוי: 20 ננומטר לעשרות מיקרומטרי ציפוי ניתן להכין, עם שליטה מדויקת על עובי הציפוי
5. חלקיקים אטומיים עדינים
6. חלקיקים מחוססים באופן אחיד
7. ניתן לרסס את הסירוגין או ברציפות
8. זרימת ריסוס נמוכה במיוחד
9. לא יחסום את הזרבובית
10. זרבובית אנטי קורוזיה
11. ריסוס לשליטה דיוק גבוה
